«Моделирование и разработка элементной базы»
«Дизайн центр нано- и микросистемной техники»
Научно-технический центр «Нано- и микросистемной техники»
«Микросборка нано- и микросистемной техники»
Исследование механических свойств тонкоплёночных материалов
Разработка технологических операций для проведения временного бондинга элементов изделий нано- и микросистемной техники
Разработка технологических процессов и маршрутов изготовления
нано- и микросистемной техники
«Проектирование и изготовление фотошаблонов»
Проектирование дизайна фотошаблона
Генерация скрытого изображения в слое резиста
Физико-химические процессы обработки экспонированных пластин
«Рентгеновская литография»
Разработка технологии безмасочной рентгеновской литографии
Проведение синхротронных исследований и разработок
Исследования поверхности изделий, электромагнитных свойств
Элементный анализ МЭМС изделий
«Аналитические методы исследования поверхности»
«Испытание компонентов микросистемной техники»
Проведение сборки и испытаний электронных компонентов
Проведение измерений электрических и функциональных параметров кристаллов микросхем и датчиков в составе
пластин и готовых изделий в корпусах
«Центр испытания нано- и микросистемной техники»
Разработка и исследование характеристик преобразователей физических величин, компактных эмиссионных приборов
Разработка математических моделей изделий НМСТ
Разработка схемотехнических решений для изделий микро- и наносистемной техники
Моделирование физических процессов в наноструктурах и изделиях НМСТ с использованием современных САПР